Номер роботи - M 43 ДОПУЩЕНА ДО УЧАСТІ
Автори:
Цикл научных работ "Малоэнергоемкие ионно-плазменные процессы формирования микро- и наноструктур"
Авторы:Стервоедов А.Н., Рафальский Д.В., Харченко Н.Д.
А series of the work “Low-power-intensity ion-plasma processes for the micro- and nanostructure formation”
Authors: Styervoyedov A.N., Rafalskyi D.V., Kharchenko N.D.
Автори: Стєрвоєдов А.М., к.т.н., Рафальський Д.В., Харченко Н.Д.
Представлений Науковим фізико-технологічним центром МОН і НАН України
Досліджено умови реалізації одночасної екстракції іонів і електронів з плазмового односітчастого джерела заряджених частинок з комбінованим високочастотним (ВЧ) індукційно-ємнісним розрядом, вперше отримано енергетичні спектри заряджених частинок в комбінованому іонно-електронному пучку, що генерується таким джерелом, та його емісійні характеристики. За результатами досліджень розроблено низькоенергетичне джерело комбінованого іонно-електронного потоку з діаметром пучка 250 мм.
Розроблено комплекс апаратури вимірювання параметрів синтезу і мікроконтролерна система управління процесом. Одержано ультратонкі (5 нм) суцільні плівки TiNx, TiNxOy на підкладках кремнію, оброблених безпосередньо перед осадженням пучком іонів аргону. Проведено комплексне дослідження плівок TiNxOy, сформованих методом іонно-променевого розпилення.
Досліджено вплив ВЧ напруги на запалювання розряду постійного струму. Показано, що існують три режими запалювання комбінованого розряду в залежності від співвідношення величин постійної та ВЧ напруг, прикладених до електродів. Вперше експериментально отримані криві згасання поздовжнього комбінованого розряду та вказано на наявність області підвищеного нагріву електронів у самостійному ВЧ ємнісному розряді поблизу стінок розрядної трубки.
Результати циклу мають велике значення як для подальших фундаментальних наукових досліджень, так і для застосування в різних технологіях, зокрема, для осадження нітридних, оксидних, діамантоподібних та інших тонких плівок, іонно-променевої літографії, накачки газових лазерів, травління мікро- і наноструктур при виробництві інтегральних мікросхем, оптоелектронних пристроїв і в інших мікро- і нанотехнологіях. Ряд отриманих результатів може бути використаний для конструювання двигунів космічних апаратів.
Кількість публікацій: 52 наукові публікації,в т.ч. 20 статей у реферованих журналах, 32 тези доповідей. Загальний індекс цитування робіт ( згідно баз даних Scopus) складає 4.