Офіційний веб сайт

Цикл наукових праць "Малоенергоємні іонно-плазмові процеси формування мікро- та наноструктур"

М43

 

Автори: Стєрвоєдов А.М., к.т.н., Рафальський Д.В., Харченко Н.Д.

 

Представлений Науковим фізико-технологічним центром МОН і НАН України

 

Досліджено умови реалізації одночасної екстракції іонів і електронів з плазмового односітчастого джерела заряд­жених частинок з комбінованим високочастотним (ВЧ) індукційно-ємнісним розрядом, вперше отримано енергетич­ні спектри заряджених частинок в комбінованому іонно-електронному пучку, що генерується таким джерелом, та його емісійні характеристики. За результатами досліджень розроблено низько­енергетичне джерело комбінованого іонно-електронного потоку з діаметром пучка 250 мм.

Розроблено комплекс апаратури вимі­рювання параметрів синтезу і мікроконтролерна система управління процесом. Одержано ультратонкі (5 нм) суцільні плівки TiNx, TiNxOy на підкладках кремнію, оброблених безпосе­редньо перед осадженням пучком іонів аргону. Проведено комплексне дослідження плівок TiNxOy, сформованих методом іонно-променевого розпилення.

Досліджено вплив ВЧ напруги на запалювання розряду постійного струму. Показано, що існують три режими запалювання комбінованого розряду в залежності від співвідношення вели­чин постійної та ВЧ напруг, прикладених до електродів. Вперше експериментально отримані криві згасан­ня поздовжнього комбінованого розряду та  вказано на наявність області підвище­ного нагріву електронів у самостійному ВЧ ємнісному розряді поблизу стінок розрядної трубки.

Результати циклу мають велике значення як для подальших фундаментальних наукових досліджень, так і для застосування в різних технологіях, зокрема, для осадження нітридних, оксид­них, діамантоподібних та інших тонких плівок, іонно-променевої літографії, накачки газових лазерів, травління мікро- і наноструктур при виробництві інтегральних мікросхем, оптоелектронних пристроїв і в інших мікро- і нанотехнологіях. Ряд отриманих результатів може бути використаний для конструювання двигунів космічних апаратів.

 

Кількість публікацій:   53 наукові публікації,в т.ч.  20 статей у реферованих журналах, 32  тези доповідей. Загальний індекс цитування робіт ( згідно баз даних Scopus) складає 4.

Надіслати коментар

Коментарі

Залишити новий коментар

Вміст цього поля є приватним і не буде доступний широкому загалу.
CAPTCHA
Для запобігання від спаму, щоб залишити коментар введіть будь ласка символи,які зображені нижче. Дякуємо за розуміня.