Номер роботи - M 19 НАГОРОДЖЕНА
Представлено Інститутом хімії поверхні імені О.О.Чуйка НАН України.
Автори: к.ф.-м.н. Гаврилюк О.О., к.ф.-м.н. Пилипова О.В.
Метою роботи є створення фізико-технологічних засад лазер-індукованого відпалу нестехіометричних плівок SiOx. Авторами отримано чисельний розв’язок рівняння Фур'є і запропоновано підходи для його використання при моделюванні лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx.
Досліджено розповсюдження температурних профілів в даній структурі при лазерному відпалі різної інтенсивності, що дає можливості для прогнозування утворення наночастинок в об'ємі, ріст яких сильно залежить від температури. З'ясовано природу змін, які відбулись в плівках SiO2(Si), після відпалу лазером.
З метою обґрунтування можливості застосування даних структур після лазерного відпалу в мікроелектроніці експериментально досліджені їх електричні характеристики.
Порівняно електричні характеристики даних плівок після термічного і лазерного відпалів. Результати дослідження поглиблюють уявлення про процес лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOxта їх електричні властивості після такої обробки.
Кількість публікацій: 56, у т.ч. за тематикою роботи монографія, 18 статей (7– у зарубіжних виданнях), 18 тез доповідей. Загальна кількість посилань на публікації авторів/h-індекс роботи згідно з базами даних складає відповідно: Scopus – 9/2; Google Scholar – 43/4.
Версія для друку